Молибденовая мишень в Мурманске 15

Молибденовая мишень

Молибденовая мишень – изделие, выполненное из молибдена (редкоземельный элемент). Изготавливается в виде плоских пластин (или диск, труба или кольцо) методом зонной или электронно-лучевой плавки. Стандартная толщина – 5 мм. По индивидуальному заказу, могут иметь буквально любую форму и конфигурацию, величину.

Технические особенности

В сравнении с вольфрамовыми аналогами, мишени из молибдена при температуре не более +1370 гр. Цельсия отличаются большей удельной прочностью (благодаря разнице в массе почти в два раза).

Стандартные типоразмеры:

• До 1500 мм. – длина;
• До 550 мм. – ширина;
• От 5 мм. до 32 мм. – толщина.

Изделия обладают такими эксплуатационными свойствами, как:

• Устойчивость к низким и высоким температурам;
• Стойкость к коррозийному разрушению;
• Минимальный уровень образования частиц при напылении;
• Максимальная плотность (на уровне 100%);
• Несущественный температурный коэффициент линейного расширения;
• Устойчивость к агрессивным газовым и жидким средам;
• Тугоплавкость (сложность в обработке) и упругость;
• Однородная микроструктура;
• Высокая степень теплопроводности;
• Надежность и прочность.

При температуре до +100 гр. Цельсия молибденовые мишени не разрушаются в щелочных растворах, царской водке, азотной кислоте, соляной и серной кислотах. Медленное разрушение происходит в горячих растворах. Единственным минусом продукции является ее высокая стоимость, связанная с редкостью материала изготовления.

Чистота мишеней из молибдена не должна быть меньше 99,97%. Основная вредная примесь – кислород. Другие примеси – фосфор, кальций, сера, железо, азот, алюминий, кремний, углерод. Отметим, что количество примесей измеряется стотысячными долями. Но именно за счет примесей снижается устойчивость к пластической деформации и повышается хрупкость.

Сфера использования

Молибденовая мишень используется при напылении конденсацией из PVD (газовая фаза). Увидеть ее в качестве составной части можно:

• В силовых устройствах;
• В полупроводниковых приборах;
• В транзисторах разного типа, например, тонкопленочных.

Мишени обеспечивают четкое изображение, контролируя отдельные пиксели (точки картинки).